Khi chọn cảm biến áp suất, cần xem xét độ chính xác của cảm biến áp suất. Có rất nhiều yếu tố gây ra lỗi cảm biến, trong đó có 4 loại lỗi mà cảm biến áp suất không thể tránh được được mô tả dưới đây:
1. Lỗi độ nhạy: kích thước của lỗi tỷ lệ thuận với áp suất. Nếu độ nhạy của thiết bị cao hơn mức thông thường thì lỗi độ nhạy sẽ là do tăng áp suất. Nếu độ nhạy thấp hơn giá trị điển hình thì sai số độ nhạy sẽ là hàm số giảm của áp suất. Nguyên nhân của lỗi này là do sự thay đổi trong quá trình khuếch tán.
2. Lỗi bù đắp: Do cảm biến áp suất không đổi trong phạm vi áp suất di chuyển theo chiều dọc, nên sự thay đổi điều chỉnh và chuyển đổi laser sẽ tạo ra lỗi bù đắp.
3. Lỗi trễ: Trong hầu hết các trường hợp, lỗi trễ của cảm biến áp suất là không đáng kể vì wafer silicon có độ cứng cơ học rất cao. Nói chung, chỉ cần xem xét các lỗi trễ trong trường hợp thay đổi áp suất.
4. Lỗi tuyến tính: Đây là một yếu tố ảnh hưởng nhỏ đến lỗi ban đầu của cảm biến áp suất, lỗi là do silicon phi tuyến vật lý, tuy nhiên bộ khuếch đại cảm biến cũng nên bao gồm bộ khuếch đại phi tuyến. Đường cong sai số tuyến tính có thể là đường cong lõm hoặc ô tải đường cong lồi.